智能對焦系統(tǒng)
?？浦悄軐瓜到y(tǒng)基于同軸激光傳感的高速自動對焦技術開發(fā)而成，通過采集對應樣品表面反射的激光信號，主動感知物鏡到對焦樣品表面的距離，并根據(jù)物鏡的離焦狀態(tài)實時確定并輸出運動機構的控制信號，控制物鏡運動到對焦位置，保證成像系統(tǒng)始終采集到高對比度圖片。
產(chǎn)品特征
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高速實時跟焦
智能對焦系統(tǒng)支持6.3kHz高速離焦量采樣，能夠迅速檢測目標表面的離焦距離和離焦方向，自動快速調(diào)整焦距，確保被測表面能夠實時清晰成像。在常規(guī)的10倍物鏡，離焦100um的情況下，再對焦時間小于100ms。
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亞微米級追焦精度
智能對焦系統(tǒng)的對焦精度達到亞微米級，靜態(tài)對焦精度優(yōu)于1/4景深，動態(tài)跟蹤對焦精度優(yōu)于1/2景深。
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場景適應性佳
智能對焦系統(tǒng)支持線式分段激光采樣，能夠兼容更復雜的目標表面紋理，滿足嚴苛的檢測需求；同時提供660/785/850nm三種激光波長，適應不同的成像波段需求。
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廣域對焦范圍
在常規(guī)物鏡倍率下，智能對焦系統(tǒng)擁有足夠大的對焦范圍，可彌補目標物上料時的高度定位偏差，適應更復雜的對焦場景。
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組件配置靈活
智能對焦系統(tǒng)支持多物鏡切換應用，可應對需要多個復檢倍率的瑕疵檢測場景；還能夠兼容多種相機靶面、明/暗場光源及Z軸執(zhí)行器，各部分組件可根據(jù)實際使用場景自由選配，游刃有余地應對不同場景視覺應用。
應用案例
?？浦悄軐瓜到y(tǒng)目前已在顯示面板、半導體、PCB、生物醫(yī)療等領域的亞微米級高精度檢測場景中廣泛應用，并獲得高度認可。
產(chǎn)品規(guī)格
| 型號 | IFU-S6 | ||||
| 物鏡倍率 | 2x | 5x | 10x | 20x | 50x |
| NA | 0.055 | 0.14 | 0.28 | 0.42 | 0.55 |
| 景深 | 91um | 14um | 3.6um | 1.6um | 0.9um |
| 采樣率 | 160Hz-6.3kHz | ||||
| 線性對焦范圍（μm） | ±3000 | ±1000 | ±700 | ±300 | ±100 |
| 供電 | 12-24V DC | ||||
| 功耗 | 4W | ||||
| 動態(tài)跟蹤對焦精度 | 優(yōu)于1/2物鏡景深 | ||||
| 單次對焦時間 | 小于100ms (20X物鏡 離焦100um) | ||||
| 可對焦反射率 | 1-99% | ||||
| 可對焦范圍（μm） | ±20000 | ±13000 | ±5000 | ±2500 | ±800 |
| 圖像傳感器 | Area Scan CMOS | ||||
| 對焦重復性 | 優(yōu)于1/4物鏡景深 | ||||
| 尺寸 | 45*50*128mm | ||||
| 工作環(huán)境溫度 | 10-35℃ | ||||
| 模塊質(zhì)量 | 385g | ||||
| 激光器 | 660nm/785nm/850nm半導體激光器，出光口的出光功率0.4-4mw | ||||
| 激光器控制 | RS485 | ||||
| 激光形狀 | 線式 | ||||
| 運動控制信號輸出 | 脈沖+方向 or 模擬信號（0-10V） | ||||
| 通信方式 | RS485 | ||||
| 靜態(tài)對焦精度 | 優(yōu)于1/4物鏡景深 | ||||
產(chǎn)品尺寸圖
